在線真空等離子清洗機是一臺全自動設備，無需人員看護，產(chǎn)品通過流水線流入設備，自動掃碼上傳MES系統(tǒng)后，自動進行等離子清洗，使用方便。該設備采用獨特的勻氣結構，清洗過程中再配合抽速和有效功率的精準控制工藝，清洗效果均勻性更好。設備有高中低配置可選，可以根據(jù)客戶應用場景選擇最實用的方案。
設備特點 Equipment Characteristics
• 全自動化連線設計,左進右出/右進左出
• 晶圓級氣路設計,防止氣體泄漏引發(fā)安全事故
• 專利的兩級勻氣設計，大幅提高等離子均勻性
• 專利的電極鎧裝機構，減少無效等離子損耗
• 腔體高密封專利設計可達5Pa以內(nèi)
• 水滴⾓<10°(FPC)
• 低溫清洗(＜40℃)
• MES系統(tǒng)通訊（選配）
設備參數(shù) Equipment parameters
| 功能配置 | 技術參數(shù) |
| 型號 | HY-VP-16L |
| 外型尺寸 | L1630*W1010*H1820(mm) |
| 重量 | 540kg |
| 適用產(chǎn)品尺寸 | L≤400、W≤350、H≤20 (mm) |
| 抽真空時間 | 小于15s |
| 破真空時間 | 小于等于s |
| 工作真空度 | 10Pa-50Pa |
真空測定系統(tǒng) | 皮拉尼電阻真空計 |
| 氣體測量系統(tǒng) | 高精密質量流量計 |
| 工藝氣體 | 氧氣、氬氣(標配) |
額定功率 | 3.5KW |
| 傳送方向 | ■左→右(標配) □右→左（選配） |
需求氣壓 | 0.4-0.6Mpa |
顯示 | 10.4寸顯示器 |
| 控制 | 可編程序控制器(PLC) |
電源 | 三相380V（可選220V） |
射頻電源 | 0-500W（范圍內(nèi)可調)、0-1000W (選配) |
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